磊晶結構模擬

輸入變數演算

• 磊晶結構組成設計
• 代入獨家模擬軟體運算：將各項變數記錄輸入後，依據其結果及改進性能的需求提出磊晶結構建議

磊晶成長

模擬確認後進行磊晶

• 4”/6”基板投入MOCVD進行磊晶成長
• 使用適當P/N型摻雜材料

晶片驗證各項變數

各項變數記錄

• 晶片設計外觀量測分析
• 光、電特性量測分析
• 組成成分量測分析
• 可靠度量測分析